驱动因素工业和信息化部近日印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》,其中在电子专用装备目录下提到了光刻机:氟化氩光刻机,光源193纳米,分辨率≤65nm,套刻≤8nm。
投资逻辑 ... 展开中信证券指出,看好国内设备、零部件和材料企业在关键领域的新品布局和先进产能带来的订单增量,预计未来2~3年国内设备公司的订单将快速提升。
中信证券指出,看好国内设备、零部件和材料企业在关键领域的新品布局和先进产能带来的订单增量,预计未来2~3年国内设备公司的订单将快速提升。
根据公司官网透露,海立集团与微电子装备集团双方领导就项目合作、产品配套等内容进行深入探讨。双方以封装光刻机得冷却系统配套为起点,进一步提升合作能级,逐步从零部件级供应合作提升为系统级供应合作。
公司液体恒温设备在半导体制造设备领域,主要应用于光刻机、刻蚀机、PVD/CVD、研磨抛光机等关键设备的温度控制。