东方证券指出,TSV是HBM实现的核心技术。TSV工艺包含晶圆的表面清洗、光刻胶图案化、干法/湿法蚀刻沟槽、气相沉积、通孔填充、化学机械抛光等几种关键工艺,运用到晶圆减薄机、掩膜设备、涂胶机、激光打孔机、电镀设备、溅射台、光刻机、刻蚀机,同时配套的电镀液、靶材、特种气体、塑封料等需求亦有望快速提升。
驱动因素亚马逊宣布,计划投资110亿美元扩建其在佐治亚州的基础设施,以支持与其云计算部门亚马逊网络服务(AWS)相关的云计算和人工智能技术。
投资逻辑... 展开东方证券指出,TSV是HBM实现的核心技术。TSV工艺包含晶圆的表面清洗、光刻胶图案化、干法/湿法蚀刻沟槽、气相沉积、通孔填充、化学机械抛光等几种关键工艺,运用到晶圆减薄机、掩膜设备、涂胶机、激光打孔机、电镀设备、溅射台、光刻机、刻蚀机,同时配套的电镀液、靶材、特种气体、塑封料等需求亦有望快速提升。