半导体设备：是用于生产各类型集成电路与半导体分立器件的专用设备 。根据制造流程，可分为前道工艺设备（如光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等）和后道工艺设备（如分选机、划片机等） 。这些设备是半导体行业的基石，其技术水平直接影响半导体产品的性能、质量和成本

最新消息：国家网信办表示头部企业需扛起“卡脖子”技术攻关责任加速研发自主可控安全芯片以突破垄断

大基金三期子基金国投新集将以不超过4.5亿元认缴拓荆键科新增注册资本192.1574万元，有助于拓荆科技的发展，也体现了国家对半导体设备企业的支持。

华为轮值董事长徐直军在“华为全联接大会2025”透露了昇腾芯片的后续规划，未来几年将推出多款新芯片，这将刺激相关半导体设备的需求，为半导体设备企业带来业务机会

题材君接下来帮大家梳理一下半导体设备相关概念股，并筛选其中最核心8家企业，以便大家供大家研究参考，以便后期跟踪

第一家：北方华创

半导体设备概念：国内产品覆盖度最广的半导体设备公司，除光刻机外，晶圆制造设备几乎都有涉猎，包括薄膜沉积设备、刻蚀机、氧化炉等

公司亮点：2023年在全球集成电路装备企业排名中位列中国企业第1位，2024年全球排名从第八上升至第六，是全球半导体设备Top10中唯一的中国厂商

第二家：中微公司

半导体设备概念：刻蚀设备龙头企业，电容性等离子体刻蚀CCP设备排名第一

公司亮点：其开发的Primo AD-RIE等刻蚀设备技术先进，具有离子浓度和离子能量独立控制等优势，设备产出率高、生产成本低，已进入亚洲多家顶级晶圆生产厂商，在全球刻蚀设备市场占有重要份额

第三家：盛美上海

半导体设备概念：专注于半导体薄膜沉积等设备领域，清洗设备排名第一

公司亮点：其Ultra Fn A ALD立式炉设备可执行多种薄膜沉积任务，能满足先进三维结构制造需求，热原子层沉积炉设备性能比肩同类国际竞品，甚至更胜一筹，在薄膜沉积设备市场具有较强竞争力

第四家：拓荆科技

半导体设备概念：是薄膜沉积设备龙头，化学气相沉积薄膜生长设备CVD排名第一

公司亮点：国内PECVD设备市占率超50%，PECVD Bianca工艺设备通过客户验证，高深宽比沟槽填充CVD设备实现产业化

第五家：华海清科

半导体设备概念：CMP设备龙头，半导体化学机械抛光设备排名第一

公司亮点：拥有Universal-H300等多款CMP装备，技术覆盖90%以上清洗工艺步骤，设备可实现晶圆纳米级全局平坦化，满足先进制程技术需求，在国内CMP设备市场市占率较高

第六家：芯源微

半导体设备概念：是国内唯一能提供量产型前道涂胶显影机的厂家，半导体涂胶显影设备排名第一

公司亮点：承担国家卡脖子短板攻关重担，公司产品已实现批量销售，累计出厂900余台套，客户近百家，包括台积电、中芯国际等知名企业。

第七家：至纯科技

半导体设备概念：高纯工艺系统、高纯工艺设备排名第一

公司亮点：旗下至微科技是国内领先的湿法设备提供商，为集成电路制造及泛半导体企业提供湿法工艺整体解决方案，湿法设备有槽式和单片系列，覆盖逻辑、存储及化合物特色工艺等领域全系列湿制程工艺

第八家：晶盛机电

半导体设备概念：围绕硅、蓝宝石、碳化硅三大主要半导体材料开发一系列关键设备，单晶硅炉市场占有率A股第一，约为10%以上

公司亮点：掌握行业领先的8英寸碳化硅晶体生长技术，其全资子公司的8英寸碳化硅衬底片已批量交付。下属公司求是创芯自主研发的12英寸常压硅外延设备顺利交付国内某头部客户，关键指标达到国际先进水平

附半导体设备概念股图表一张：

来源：逻辑题材君