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2025-03-30
一. 半导体制造材料概览
半导体材料处于整个半导体产业上游,主要分为制造材料、封装材料。
制造材料可分为七大类:硅片、掩模版、光刻胶、湿电子化学品、抛光材料(CMP)、电子特气、靶材。
(1)概览:半导体的核心衬底材料,由高纯度单晶硅组成。
(2)作用:作为芯片的物理载体,承载晶体管、电路结构。
(3)分类:按尺寸分为8英寸、12英寸等;按工艺分为抛光片、外延片、SOI硅片。
(4)全球格局:CR5信越化学(日)、SUMCO(日)、环球晶圆(台)、Siltronic(德)、SK Siltron(韩)合计占据90%份额。
(5)国产化率:8英寸约50%,12英寸约10%。
(1)概览:光刻工艺所使用的高精度模板,承载电路设计图案;由石英玻璃基板 、铬层、 感光胶组成。
(2)作用:通过光刻机将电路图形转移到硅片上。
(3)全球格局:晶圆大厂自产,其余包括Photronics(美)、Toppan(日)、DNP(日)。
(4)国产化率:约20%。
(1)概览:光刻工艺中的感光材料,由树脂、感光剂、溶剂、添加剂组成。
(2)作用:作为图形转移介质,通过曝光显影工艺,将掩模版上的图形转移到基底。
(3)分类:根据波长分为G/I线胶、KrF胶、ArF胶、EUV胶。
(4)全球格局:JSR(日)、东京应化(日)、杜邦(美)、信越化学(日)、富士胶片(日)。
(5)国产化率:ArF、EUV等高端胶低于10%。
(6)国内头部:彤程新材、南大光电、晶瑞电材、上海新阳、容大感光。
(1)概览:用于晶圆清洗、蚀刻、抛光等工艺的高纯度化学试剂。
(2)作用:去除杂质、蚀刻材料层、表面处理。
(3)分类:清洗液、蚀刻液、剥离液、显影液等。
(4)全球格局:关东化学(日)、巴斯夫(德)、霍尼韦尔(美)。
(5)国产化率:G3以下约80%,G3及以上约10%。
(1)概览:高纯度特种气体,用于蚀刻、沉积等工艺。
(2)作用:参与化学反应,如沉积(形成薄膜)、蚀刻(选择性去除)、掺杂(改变材料性能)。
(3)分类:种类超百种,如硅烷、三氟化氮、氦气等。
(4)全球格局:四大巨头美国空气化工、德国林德、法国液化空气、日本太阳日酸合计占据94%份额。
(5)国产化率:约30%。
(1)概览:化学机械抛光用材料。
(2)作用:通过化学腐蚀、机械研磨实现硅片纳米级表面平整。
(3)分类:抛光液、抛光垫。
(4)全球格局:抛光液Carbot(美)、抛光垫陶氏杜邦(美)。
(5)国产化率:抛光液约30% 、抛光垫约10%。
(1)概览:用于物理气相沉积(PVD)形成薄膜的材料。
(2)作用:在晶圆表面沉积导电层、阻挡层或光学膜。
(3)分类:金属靶材、合金靶材、陶瓷靶材(ITO)。
(4)全球格局:日矿金属(日)、霍尼韦尔(美)、东曹(日)、普莱克斯(美)合计占据80%份额。
(5)国产化率:铝钛靶材约60%,钽钴高端靶材约20%。
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来源:伏白的交易笔记
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