光刻机的DeepSeek时刻？

破局之年！2025有望成为国产半导体产业链投资黄金期，国产E GKJ技术突破＋ASML维保本土化

事件1：3月8日外媒报道，中国自主研发的E GKJ采用激光诱导放电等离子体(LDP)技术正在测试；

事件2：ASML在2024年年报中披露，2025 年计划在北京开设一个新的再利用和维修中心；

事件3：据25年2月环评报告，上海微电子计划新增100台先进封装光刻机，较现有19台产能显著提升；

E GKJ一直以来是我国半导体行业7nm难以实现高良率生产，5nm及以上技术节点难以突破的卡点。截至2024Q3，全球7nm及以上技术节点市场份额约48%，其中6/7nm占比11%/，4/5nm占比24%。E GKJ的突破意味着7nm及以上先进制程市场，也即接近翻倍的市场空间向我们打开，国产半导体产业链将迎来估值重塑，建议重点关注GKJ零部件/半导体设备产业链！

光源和物镜系统是GKJ最重要的两个核心部件：

#福晶科技：公司LBO、BBO晶体全球市占率80%，LBO晶体可用于开发波长为193纳米的60毫瓦固态DUV激光器，是GKJ光源及光学器件的核心部件，可直接供货ASML。此次ASML在北京建设维保中心，公司或从中获取更多订单及市场份额，将显著受益。非线性晶体技术壁垒高，24Q3公司毛利率高达56%。此外，公司积极布局超精密光学元件制造领域，子公司“至期光子”聚焦纳米精度的超精密光学元件制造及复杂光机组件开发！据相关媒体报道：公司研发的超精密光学元组件及高精度物镜与成像镜组已成功应用于国内重大技术装备的关键系统！

#福光股份：国内最重要的特种光学镜头提供商之一。公司超精密加工业务可为GKJ提供高精密的光学镜头和光学系统。以193nm GKJ为例，镜头都是由30片左右镜片构成，任何偏离位相平面的幅度必须在1nm之内，对镜片加工的要求极高。E GKJ 的突破离不开配套光学镜头和光学系统的技术升级。福光股份也将显著受益于ASML维保的本土化。

#茂莱光学：在GKJ领域，公司主要为客户提供光学器件，为量检测领域客户主要提供光学模组，这轮后道先进封装gkj龙头主线。

#英诺激光：gkj非常强悍的标的，光源核心部件。

周末讨论非常热的话题——LDP EUV和LPP EUV的区别

根据公开信息整理，LDP技术通过激光将锡球汽化形成云状物，然后通过施加高压的电极将其转化为等离子体，等离子体与电子碰撞产生13.5nm的EUV光。与LPP技术相比，该方法能够实现更高的能量转换效率，并在成本上存在明显优势。技术上存在功率输出的限制和优化放电脉冲参数的挑战。

我们从文中分析，LDP技术依然需要非常精密的光源来气化锡球，而光源的关键部件是激光器，而激光器的挑战在于功率和脉冲参数，建议关注激光器产业的进展。

中国正在与ASML竞争。激光诱导放电等离子体(LDP)EUV产生商业化的推动是我所担心的光刻技术的“深度探索”时刻。

LDP比ASML使用的激光等离子体(LPP)效率高得多。LDP将少量的锡汽化成两个电极之间的云，然后使用高电压将锡蒸气转化为等离子体。电子与锡离子碰撞产生13.5nm EUV光。LPP需要高能激光和复杂的FPGA实时控制电路。

LDP方法更简单、更小、更具成本效益和更好的能效。

ASML北京维修中心意义重大

ASML年报披露：计划在北京（中国）开设一个新的再利用和维修中心，这标志着再利用制造业的又一个重要进步。

1、2024年ASML中国大陆收入101.95亿欧元，占比36%，根据产业调研反馈，目前大陆存量GKJ数量预估2000台，其中ASML占比超过70%，此次ASML规划北京再利用和维修中心对ASML具有重要商业意义，同时一定程度表明了ASML对中国大陆的态度（目前并未相应美国制裁号召），结合到ASML后续不再披露中国大陆销售情况，对中国大陆后续晶圆厂先进制程扩产是积极信号。

2、我们认为面对中国大陆庞大的GKJ再利用、维保市场，ASML预计通过扶持本土供应链来完成（参考ASML 24年报的描述：其相关维修中心，与当地供应商和专业维修合作伙伴合作，打造本地生态系统），实现本地自主，这也有助于规避美国后续相关制裁（大概率是ASML属地化的原因）。对本土GKJ相关零部件供应商是利好：一方面配套ASML再利用、维保零部件供应提升本土产业链GKJ配套能力，加速国产GKJ突破；另一方面，庞大的ASML后市场大幅提升本土零部件成长空间。

3、我们一直强调25年国产GKJ产业正在迎来积极变化，预计后续产业进展好于市场预期，而且不止在高端GKJ（浸没式）要实现突破替代，中低端GKJ也会迎来全面国产替代（上海微电子100台先进封装GKJ扩产已经说明了这一趋势），GKJ是中国硬科技自主可控最后一块拼图，战略意义重大，产业趋势确定。

GKJ属于自主可控弹性环节，重点推荐福光股份、茂莱光学、华辰装备、百傲化学、汇成真空、福晶科技。

来源：热点投研