26亿！天价光刻机，正式投产！产业链哪些公司值得押注？

光刻机“黄金十年”

• 市场规模与增速

中国光刻机市场以年均15%复合增长率狂奔，2025年规模预计达250亿元，2030年或冲击500亿大关。

国产替代窗口期：高端光刻机进口依赖度超90%，但中低端市场国产化率已提升至50%以上，政策驱动下（如《中国制造2025》），国产设备渗透率将持续攀升。

EUV成制高点：荷兰ASML垄断全球EUV市场，但中国正加速光源、光学系统等核心环节攻关，上海微电子的28nm DUV光刻机已量产，国产EUV原型机研发提上日程。

产业链协同突围：从光源、光学器件到控制系统，国内企业正以“蚂蚁雄兵”战术分食全球供应链。例如，福晶科技的光学晶体、茂莱光学的精密镜头已打入ASML供应链。

产业链企业全景扫描

• 谁在改写游戏规则？

整机组装：国产化的“扛旗者”

张江高科

持股上海微电子10.779%

主营业务：通过资本运作支撑上海微电子（国内唯一整机厂商）研发。

核心亮点：绑定国家战略，上海微电子的28nm DUV光刻机已商用，下一代技术瞄准14nm。

增长潜力：受益国产替代政策，未来5年营收CAGR或超30%。

上海电气

母公司为上海微电子第一大股东

战略定位：以资金和制造能力为上海微电子提供产业链协同，主攻光刻机机械结构件。

光源系统：光刻机的“心脏”

福晶科技（全球最大LBO/BBO晶体供应商）

主营业务：激光晶体材料，用于光刻机光源系统。

核心亮点：全球市占率超60%，直接供货ASML，技术壁垒极高。

增长潜力：随EUV普及，高端晶体需求爆发，未来3年利润CAGR或达25%。

波长光电

光刻机平行光源系统

技术突破：DUV光源国产化核心供应商，已进入中芯国际供应链。

光学器件：精度决定成败

茂莱光学（精密光学器件）

核心产品：光刻机物镜、分光镜，国产替代标杆企业。

技术壁垒：纳米级加工精度，客户覆盖ASML、上海微电子。

增长逻辑：国产光刻机放量+海外订单，营收CAGR或超40%。

腾景科技

多波段合分束器

应用场景：光刻机光路系统核心元件，打破海外垄断。

洁净设备与温控：芯片制造的“隐形冠军”

蓝英装备

精密清洗设备

市场地位：国内唯一能提供28nm制程清洗设备的企业，客户包括台积电、中芯国际。

增长驱动：半导体扩产潮下，设备需求激增，未来3年订单CAGR或达50%。

同飞股份

液体恒温设备

技术优势：光刻机温度控制精度达±0.01℃，国产替代率不足10%，成长空间巨大。

其他关键环节

赛微电子（MEMS透镜）：全球唯二能量产光刻机微透镜的企业，技术独步亚洲。

炬光科技（光场匀化器）：EUV光刻机核心元件，国内唯一供应商，毛利率超60%。

未来十年

• 三大趋势与投资逻辑

国产替代加速：政策补贴+技术突破，中低端市场国产化率或超70%，高端市场逐步破冰。

技术联盟崛起：如上海微电子+上海电气的“整机联盟”，福晶+茂莱的“光学联盟”，协同对抗ASML垄断。

细分赛道爆发：光学器件、洁净设备等环节技术门槛高、国产化率低，头部企业将享受超额收益。

光刻机之战，不仅是技术之争，更是国运之争。

这场战役的终局，或将由那些在细分领域死磕技术的“隐形冠军”们共同书写。而我们要做的，就是找到这些“蚂蚁雄兵”，等待他们成长为“大象”。

来源：绿能研究所