
大V说
半导体设备指用于生产半导体产品所需的各类设备,其技术壁垒高,研发难度大、周期长。
按工艺流程可分为:前道设备(晶圆制造)、后道设备(封装测试)。
(1)前道设备包括:清洗设备、光刻设备、涂胶显影设备、刻蚀设备、过程控制设备、去胶设备、离子注入设备、薄膜沉积设备、机械抛光设备。
(2)后道设备包括:测试机、探针台、分选机、划片机、贴片机、减薄机、固晶机等。
二. 封装测试环节解析
芯片封测环节涉及减薄、划片、固晶、键合、塑封等在内的多道工序:
(1)在晶圆制造完成后,通过减薄和划片工艺,将晶圆切割为小晶片。
(2)小晶片被贴装到引线框架基板后,将晶片焊盘接到基板引脚,形成所需电路,然后使用外壳对晶片进行封装。
(3)完成封装后,再进行入检、测试和包装等工序,最终得到成品。
三. 封装设备梳理
3.1 减薄机
减薄机使用研磨液等材料,通过抛磨把晶圆厚度减薄,包括金刚石砂轮、激光减薄机两类。
减薄机海外厂商包括DISCO、OKAMOTO、Camtek等;国内厂商包括:华清海科、宇环数控、宇晶股份。
华海清科:半导体设备厂商,产品包括CMP设备、减薄设备、划切设备、湿法设备等。
3.2 划片机
划片机把晶圆切割成小芯片(Die),包括金刚石砂轮切割、激光切割两类。
全球半导体划片机市场高度集中,日本Disco占据70%份额,国内厂商包括:大族激光、光力科技。
3.3 固晶机
固晶机通过加热和压力作用,将芯片固定在封装基板或载板上。
固晶机全球龙头厂商为ASMP、Besi,国内厂商包括:新益昌、快克智能。
四. 测试设备梳理
按照工艺流程,半导体检测分为前道检测、后道测试。
(1)前道检测:用于晶圆制造环节,检查每一步工艺后晶圆产品的加工参数,属于物理性检测。
(2)后道测试:用在晶圆加工之后,检查芯片性能是否符合要求,属于电性能检测。
后道测试设备主要包括测试机、分选机、探针台,其中测试机是最主要设备,贯穿集成电路制造所有环节。
4.1 测试机
对封装后的芯片进行功能、参数、可靠性测试,分为模拟测试机、SoC测试机、存储器测试机、RF测试机。
测试机全球市场集中度较高,泰瑞达(美)、爱德万(日)、科磊(美)合计全球市占率超85%。
长川科技:全面布局后道检测设备,主营分选机、测试机、AOI光学检测设备等。
4.2 分选机
分选机用于芯片设计检验阶段、成品终测环节,对经过测试的芯片进行分类。
全球分选机市场格局较为分散,主要厂商有科休(美)、科利登(美)、爱德万(日)、鸿劲。
4.3 探针台
探针台在芯片设计和晶圆检测阶段配合测试机工作,由晶圆输送和晶圆针测两部分组成。
探针台技术壁垒高,研发投入大、周期长,目前全球市场由东京精密、东京电子双寡头垄断,国产替代空间广阔。
来源:伏白的交易笔记
展开阅读全文
文章观点仅代表作者观点,或基于大数据智能生产,不构成投资建议。投资者依据此做出的投资决策需自担风险,与通联数据无关。