一文了解半导体设备行业重点公司

来源：浙商证券

北方华创：半导体设备平台型龙头，规模效应凸显盈利能力提升

北方华创是国内半导体设备平台型龙头，布局半导体设备、真空设备、新能源锂电设备及精密电子元件四大业务板块。据公司 2022年业绩预告，公司2022年实现营业收入147亿元，同比增长52%，归母净利润23.5亿元，同比增长118%，净利率和扣非 净利率分别为16.0%和14.3%，同比增加3.7pct、6.0pct，规模化效应凸显，盈利水平大幅提升。

半导体领域布局刻蚀、沉积、清洗、氧化扩散等设备以及流量计、射频电源两大关键零部件，部分产品达14nm节点，下游覆盖逻辑、存储、功率、三代半、光伏、面板等多领域。公司持续受益于国产制造的浪潮，渗透率有望持续提升。

中微公司：刻蚀和MOCVD设备龙头，布局沉积及量测向平台化发展

公司为国内刻蚀和MOCVD设备龙头，2021年公司发布定增布局薄膜沉积领域。

国内刻蚀龙头，实现ICP和CCP刻蚀全覆盖，技术能力达到5nm及更先进工艺水平，大马士革和高深宽比刻蚀已进入客户验证。发力薄膜沉积设备，开发LPCVD、ALD、EPI外延设备；参股睿励布局量测设备，迈向刻蚀+薄膜沉积+量测平台化公司。

2022年公司营收增长至47.4亿元，同比增长52.5%。新签订单金额约 63.2 亿元，同比增加约 53.0%。

晶盛机电：半导体硅片设备龙头订单高增长，发力半导体核心零部件

国内半导体硅片行业：受益于国产替代 +大硅片需求提升。全球半导体硅片市 场90%以上由海外垄断，中国大陆近7 成市场由海外厂商主导。

公司是国内半导体硅片设备龙头，8英寸设备在晶体生长、切片、抛光、CVD 等环节实现全覆盖，12英寸长晶、切片、 研磨、抛光等设备实现批量销售，产品 达国际先进水平。

布局半导体核心零部件（坩埚、金刚线、 阀门、磁流体、管接头、精密零部件 等），强化供应能力、解决海外卡脖子。

2022年末未完成半导体设备合同33.92 亿元（含税），同比增加218%。

微导纳米：以ALD设备为核心，发力半导体CVD设备打开成长空间

半导体领域，公司以ALD设备为核心，拓展CVD设备市场空间打开。公司是国内首家实现28nm ALD high-k IC量产设备公司。据公司2022年年报，CVD设备已发往客户验证，PEALD设备已签署合同。ALD设备占薄膜沉积设备占比11%，CVD设备占比 57%，新品类延展应用制程范围拓展，市场空间大幅提升。

产品需求及新品类的拓展，半导体新签订单高增长。2022年末半导体设备在手订单2.57亿，2023年初至4月24日新增2.42亿元

拓荆科技：国产薄膜沉积设备龙头，受益于国产驱动

国内半导体薄膜沉积设备龙头，扩展混合键合产品。2022年，公司PECVD 产销高速增长，收入15.6亿元，同比增长131%；ALD 中PEALD设备已实现产业化应用，收入0.33亿元，同比增长14%，TALD设备已完成开发，发货至客户端验证；SACVD 设备持续提升工艺覆盖度，SA TEOS、BPSG、SAF薄膜工艺设备取得客户验收，收入0.89亿元，同比增长117%。HDPCVD 设备已取得订单，可沉积 SiO2、FSG、PSG 等介质材料。公司积极拓展混合键合设备，晶圆对晶圆键合设备、芯片对晶圆键合表面预处理设备均已发货至客户验证。

新签订单&合同负债高增长，业绩增长可期。2022年签订销售订单43.62亿元（不含 Demo 订单），新增订单同比增加95%。截至 2022 年末公司合同负债14亿元，较2022Q3末增加4.74亿元。

芯源微：涂胶显影设备龙头，国产替代进入加速期

公司产品包括光刻工序涂胶显影设备（收入占比约6成）和单片式湿法设备（收入占比3~4成）。

1）前道涂胶显影机：公司是目前国内唯一可提供量产型前道涂胶显影机的设备商，已全面覆盖offline、KrF、ArF、浸没式等 28nm工艺节点设备。offline、I-line、KrF机台均实现批量销售，浸没式机台获得客户订单，超高温Barc机台也实现客户导入。

2）物理清洗：成熟Spin Scrubber设备广泛应用于中芯、华力、芯恩、粤芯、积塔等一线大厂，成为国内晶圆厂baseline产品。

2022年公司新签订单22亿元，创历史新高。截至2022年末，合同负债5.85亿元，同比+66%，在手订单充足。

华海清科：国产CMP设备龙头，外延布局打造多重增长极

目前国内唯一一家实现12 英寸CMP设备量产销售的国内厂商，布局减薄机、晶圆再生业务外延式发展。2022年新签订单金额约35.71亿元（不含 Demo ），再创新高。

盛美上海：国内清洗设备龙头，平台化战略打开市场空间

国内半导体清洗设备行业龙头，凭借差异化战略打入打入海力士、长江存储、华虹集团、中芯国际等知名晶圆厂产线。

据公司公告，公司目前业务拓展至清洗、电镀、先进封装湿法设备、立式炉、Track、PECVD，可覆盖市场规模达160亿美元。2022年公司营收28.73亿元，清洗、电镀、先进封装湿法设备分别占比72%、18%、6%。

至纯科技：国内领先高纯工艺系统公司，布局多种半导体设备及零部件

至纯科技以高纯工艺起家，2015年公司在高纯工艺基础上着力发展半导体湿法设备。受益于公司集成电路业务增长，2022年公司泛半导体业务营收26.98亿元，同比增长43.9%，营收占比超80%。2022 年公司新增订单总额为42.19亿元，同比增长30.62%，其中半导体制程设备新增订单18亿元，同比增长60.71%。

2022年12月公司发布非公开发行预案，拟募资18亿元，加码半导体零部件、炉管及涂胶显影设备业务。

万业企业：国内离子注入机龙头，1+N平台化发展

万业企业成立于1991年，历史主营业务主要为房地产。2015年引入浦东科投作为第一大股东，转型半导体集成电路业务。

实现“1+N“平台化发展。2018年收购离子注入机企业凯世通，布局半导体和光伏离子注入机。2020年收购全球领先半导体 气体输送系统Conpart System。2021年成立嘉芯半导体，拓展刻蚀、快速热处理、薄膜沉积、尾气处理等8/12英寸半导体设备。

精测电子：平板显示检测设备龙头，半导体前道检测核心标的

公司深耕检测行业17年，已成为国内平板显示检测龙头，2018年以来公司积极局部平板显示/半导体/新能源三大业务。

顺利打入半导体前道检测市场，把握国产替代的时代机遇。公司于2018年开始进入半导体检测领域市场，目前以上海精测和武汉精鸿两大子公司为载体，已实现前道/后道检测布局，与中芯国际、长江存储等客户建立合作关系。

赛腾股份：消费电子/半导体设备双轮驱动，“低估值高成长”优质标的

赛腾股份是消费电子领域主要自动化设备供应商，已成为覆盖消费电子、半导体、新能源汽车的综合性自动化设备平台。 2019 年 ， 赛 腾 股 份 收 购 日 本 Optima，切入高端半导体检测领域。

2022年实现营业收入29.3亿元， 同比增长26%，其中公司消费电 子、半导体及新能源汽车营收分别为24.52、2.91、1.80亿元。